半導(dǎo)體行業(yè)用超純水設(shè)備采用PLC+觸摸屏控制，全套系統(tǒng)自動(dòng)化程度高，系統(tǒng)穩(wěn)定性高，大大節(jié)省人力成本和維護(hù)成本。水利用率高，運(yùn)行可靠，經(jīng)濟(jì)合理。使設(shè)備與其它同類產(chǎn)品相比較，具有更高的性價(jià)比和設(shè)備可靠性。

　　半導(dǎo)體行業(yè)用超純水設(shè)備工藝

　　預(yù)處理→UF系統(tǒng)→一級反滲透→PH調(diào)節(jié)→級間水箱→二級反滲透→中間水箱→中間水泵→紫外線殺菌器→微孔過濾器→EDI裝置→氮封水箱→增壓水泵→拋光混床→循環(huán)增壓泵→用水對象(≥18MΩ.CM)

　　半導(dǎo)體行業(yè)用超純水設(shè)備特點(diǎn)

　　為滿足用戶需要，達(dá)到符合標(biāo)準(zhǔn)的水質(zhì)，盡可能地減少各級的污染，延長設(shè)備的使用壽命、降低操作人員的維護(hù)工作量，在工藝設(shè)計(jì)上，以符合國家自來水標(biāo)準(zhǔn)的水作為源水，再設(shè)有介質(zhì)過濾器，活性碳過濾器，鈉離子軟化器、精密過濾器等預(yù)處理系統(tǒng)、RO反滲透主機(jī)系統(tǒng)、EDI系統(tǒng)、拋光混床等。 系統(tǒng)中水箱均設(shè)有液位控制系統(tǒng)、高壓水泵設(shè)有壓力保護(hù)裝置、在線水質(zhì)檢測控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器，真正做到了無人職守，同時(shí)在工藝選材上采用推薦和客戶要求相統(tǒng)一的方法，使設(shè)備與其它同類產(chǎn)品相比較，具有更高的性價(jià)比和設(shè)備可靠性。

　　系統(tǒng)應(yīng)用場合

　　☆半導(dǎo)體材料、器件、印刷電路板和集成電路

　　☆電解電容器生產(chǎn)鋁箔及工作件的清洗

　　☆電子管生產(chǎn)、電子管陰極涂敷碳酸鹽配液

　　☆顯像管和陰極射線管生產(chǎn)、配料用純水

　　☆黑白顯像管熒光屏生產(chǎn)、玻殼清洗、沉淀、濕潤、洗膜、管頸清洗用純水

　　☆液晶顯示器的生產(chǎn)、屏面需用純水清洗和用純水配液

　　☆晶體管生產(chǎn)中主要用于清洗硅片，另有少量用于藥液配制

　　☆集成電路生產(chǎn)中高純水清洗硅片

　　☆LCD液晶顯示屏、PDP等離子顯示屏

　　☆高品質(zhì)顯像管、螢光粉生產(chǎn)

　　☆半導(dǎo)體材料、晶元材料生產(chǎn)、加工、清洗

　　☆超純材料和超純化學(xué)試劑、超純化工材料

　　☆實(shí)驗(yàn)室和中試車間

　　☆汽車、家電表面拋光處理

　　☆光電產(chǎn)品、其他高科技精微產(chǎn)品