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        超純水雙操作系統應用 有效提高芯片良品率

        2023-01-09

          超純水廣泛應用于電子行業,是電子行業常用的術語,廣泛應用于太陽能光伏、發電等其他行業。雖然各個行業都在使用“超純水”,但其質量和標準各不相同,其中半導體行業對超純水的要求相對較高。

          在半導體生產中,超純水可用于晶圓沖洗、化學品稀釋、化學機械研磨、潔凈室環境加濕源等場合。超純水的質量直接關系到半導體的質量。隨著半導體元件尺寸的縮小和精細度的提高,超純水水質的技術要求不斷提高。在超純水生產過程中,只要顆粒、電阻率、TOC和氣泡中的一個指標略有差異,半導體元件生產的合格率就會降低。

        超純水設備

          萊特萊德可以為用戶提供更好的超純水質量,有效解決超純水清洗芯片的問題,更好地提高芯片的良品率。該系統采用獨有的靶向離子交換系統,去除超純水中難以處理的硼及其他離子,確保硼離子能夠穩定≤5ppt。超純水設備可以連續穩定地生產高純度的超純水,無需因樹脂再生而停機。

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