EDI超純水設備推動集成電路產業邁向更高發展臺階

　　在經濟持續蓬勃發展的當下，集成電路設計領域對水質的要求愈發嚴苛。生產過程中，超純水成為保障集成電路性能的關鍵要素。展望未來數年，隨著集成電路制造商數量的遞增以及制造能力的提升，該行業對于超純水制備的需求將全面上揚，不僅在 “量” 上要求更多，鑒于集成電路制造工藝日益精密，對純水純度與穩定性等 “質” 的標準也將更為嚴格。

　　長期以來，混床離子交換技術作為超純水制備的經典工藝，在超純水生產領域應用廣泛。然而，這一傳統工藝存在明顯弊端。其再生過程需周期性進行，期間會消耗大量化學藥品(酸堿)以及工業純水，同時還會引發一定的環境問題。基于此，研發無酸堿超純水系統迫在眉睫。

　　傳統離子交換工藝在現代工業發展和環保理念普及的浪潮下，逐漸難以契合需求。在此背景下，融合了膜、樹脂以及電化學原理的 EDI 技術應運而生，堪稱水處理技術領域的重大革新。EDI 設備中離子交換樹脂的再生依靠電能實現，徹底摒棄了酸堿的使用，高度契合當下環保要求。

　　EDI 設備通常銜接于反滲透系統之后，用以替代傳統混床離子交換技術，穩定產出超純水。超純水系統一般由反滲透水處理設備、EDI 設備以及拋光混床協同構成，共同制備超純水。這一組合不僅代表著超純水制備的全新技術路徑，更因其環保、經濟且具備巨大發展潛力，成為非常有前景的超純水制備工藝。

　　超純水設備優勢顯著，能夠持續穩定地生產高品質超純水，避免了因樹脂再生導致的運行中斷。設備在結構設計上非常緊湊，占地面積小，可為企業節省大量空間資源。相較于傳統超純水制備方法，超純水設備優點眾多，能夠持續、穩定地為集成電路產業供應高質量超純水，有力推動集成電路產業邁向更高發展臺階 。